參考資料 外部連結 官方网站 德伦特省市镇 德伦特省城镇和村庄 17世紀建立的霍赫芬聚居地人口密度為每平方公里425人。霍赫芬）是霍赫芬荷蘭德伦特省的一个市镇，距離該國首都阿姆斯特丹約115公里，霍赫芬2007年人口54,霍赫芬345，位於該國東北部，霍赫芬面積129.22平方公里，霍赫芬
霍赫芬（，霍赫芬始建於1625年，霍赫芬
本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
" alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用
专业
TOP 1、多种无籽水果用避孕药培育？
谣言：无籽水果中含有大量激素，因使用避孕药处理达到无籽效果。此外，“顶花带刺”的黄瓜也用避孕药处理来保持新鲜，经常食用对人体有害。
真相：在所有水果谣言中，避孕药是跨界幅度最大的添加剂，葡萄、西瓜、黄瓜等常见果蔬悉数中招。但实际上，无籽水果中大部分为天然无籽品种，而另一部分则是通过人工杂交培育、使用合法植物生长调节剂等进行无核化处理。
无籽水果主要包含西瓜、葡萄、柑橘等品类。其中，无籽西瓜主要通过人工杂交培育，使种子无法正常受精发育，最终形成无籽果实。无籽柑橘则是将自然形成的无核柑橘所在枝条进行嫁接进行繁育产出。
TOP 2、柿子不能与N种食物同吃？
谣言：柿子与螃蟹同食可引发中毒，严重者可致命。
真相：最早的“柿蟹相克”之说起源于东晋，至今已有1600多年历史。如今，柿子成为食用禁忌最多的水果，如“柿子不能与螃蟹同食”、“柿子不能与白酒同食”、“柿子不能与红薯同食”等。事实上，柿子与其他食物相克没有足够的科学依据支撑。属于典型的急性胃肠炎和食物中毒反应，且以下消化道反应即腹痛腹泻为主症，符合细菌性食物中毒和痢疾感染的特点，并非食物相克引发。
柿子中富含大量果胶、鞣酸（单宁），在空腹大量进食后会在胃酸作用和胃肌机械辗转下产生凝块滞留胃中，形成植物性胃石，临床可见上腹部疼痛、恶心呕吐或少量咖啡色血性物，常并发胃溃疡、幽门梗阻，少见腹痛腹泻。而胃内强酸环境是胃石发生的基础，高蛋白饮食只是其促发条件之一。
TOP 3、杨梅盐水泡出小白虫会致病？
谣言：杨梅、樱桃等水果在浸泡盐水后会爬出大量白色小虫子，可致病，千万不要吃。
真相：樱桃和杨梅是最常受病虫害侵袭的农产品。果蝇在果实表面产卵后，幼虫会在果肉内孵化，而上市后用盐水等浸泡便可爬出，这在不少消费者看来成为“水果泡出蛆虫”的证据，引发不少担忧。杨梅进入成熟期后果实变软，会吸引果蝇在表面产卵，采摘后搁置一天左右便会生虫。北方的樱桃、苹果如个别不新鲜、散发出发酵味，也会吸引果蝇，但对人体并无危害。
目前对于果蝇虫害并没有太好的解决办法，主要依靠物理套袋和喷洒农药进行控制，若果蝇已将卵产在果实内，则很难处理。尽管盐水泡出白色幼虫给消费者的感官冲击较大，但实际上果蝇不会携带病菌，其幼虫更是从出生到成长都处在无污染环境中，富含高蛋白、高营养。
TOP 4、草莓打膨大剂可致癌？
谣言：个头大、形状奇怪的草莓都用了膨大剂，会在人体内积累并致癌。
真相：草莓是一种营养价值较高的水果，但历年上市前后关于“激素草莓”、“膨大剂草莓”致癌的说法便在网上盛行，其中对个头较大、外观均匀的空心草莓质疑最多。草莓的个头与很多因素相关，如通过杂交选育、疏花疏果都能得到果实更大的草莓。而某些异常大的草莓确实存在使用膨大剂的可能，但并没有“致癌”那么恐怖。
事实上，膨大剂作为一种植物生长调节剂，学名为氯吡脲（CPPU），20世纪80年代首先由日本发现，之后引入中国，在国际上广泛使用。其能促使植物细胞加倍分泌细胞分裂素，增加单位时间内植物细胞分裂的次数，同时还能促使生长素的分泌，使细胞长得更大。
TOP 5、荔枝泡药水引发手足口病？
谣言：荔枝几乎都是用药水浸泡的，具有弱腐蚀性，吃完后会引起孩子发烧，还可能引发手足口病。
真相：作为保质期最短的季节性水果之一，荔枝一直有着“一日色变、二日香变、三日味变”的说法，因此不少商家在采摘后会对其进行一系列保鲜处理。这种方式由于信息不对称等因素，在消费者中被演变成“荔枝泡药水可致病”的谣言广泛传播。事实上，手足口病的主要传播途径是通过呼吸道飞沫或口腔分泌物，吃荔枝并不会引发或传播这种疾病。
至于“荔枝泡药水”，目前上游荔枝产地及流通环节中，较常采用的是柠檬酸加食盐兑水浸泡的方式，可将荔枝保质期延长至7-15天，以保证其从产地到运输过程中的品质。此外，荔枝外壳也容易附着一些田间微生物、真菌和多酚氧化酶等，在炎热天气会氧化果皮中的一些无色物质，导致其变色。因此，柠檬+食盐混合冰水浸泡的方式能降低荔枝外壳表面的真菌，并让果皮处于微酸环境中，延缓其变色。
" alt="水果谣言大盘点 告诉你事实真相【健康】风尚中国网">水果谣言大盘点 告诉你事实真相【健康】风尚中国网
专业
山舞银蛇，原驰蜡象，欲与天公试比高。本周玻璃行业有哪些值得关注的资讯呢？请快和小玻一起走进第336期玻璃周刊吧！
国际动态
1、GulfGuard宣布了新的浮法玻璃和镀膜玻璃生产线计划
GulfGuard是Guardian 玻璃公司与国家玻璃工业公司（ZOUJAJ）的合资企业，该公司宣布计划在其位于沙特阿拉伯朱拜勒工业城的现有厂址开发第二条浮法玻璃生产线和第二条玻璃镀膜生产线。此宣布是在合资双方于华盛顿举行的美沙商业论坛上签署谅解备忘录之后作出的，该论坛由沙特投资部组织，举办时间为11月19日，正值穆罕默德?本?萨勒曼?本?阿卜杜勒-阿齐兹?阿勒沙特王储殿下访问之际。
2、?i?ecam庆祝其90周年华诞
由 T?rkiye ?? Bankas? 于 1935 年创立的?i?ecam，自豪地迎来了其 90 周年华诞。公司最初仅有 400 名员工，如今已发展成为一家全球性企业，在四大洲拥有 47 家生产工厂，员工总数达 23,000 人。
3、维特罗帕克开始临时关停基希讷乌工厂的一座熔炉
维特罗帕克集团（Vetropack Group）已开始有控制地关停其位于摩尔多瓦共和国基希讷乌工厂的两座熔炉之一。这座熔炉将至少停止运行六个月。该决定是基于欧洲持续艰难的市场形势以及摩尔多瓦工厂尤为严峻的成本状况做出的。
4、圣戈班玻璃：INSIO?获得CE认证，首款钢化真空玻璃
圣戈班玻璃宣布，其下一代真空玻璃解决方案INSIO?已获得自愿性CE认证，成为全球首个热绝缘值（Ug）在0.3至0.5瓦/平方米?开尔文之间且获得该认证的钢化真空绝缘解决方案。
这一里程碑是在该公司最近与透明隔热技术的先驱LuxWall建立战略合作关系之后达成的，它强化了圣戈班玻璃在建筑行业对创新、质量和节能的积极承诺。
5、NSG集团作为创始成员加入“ResponsibleGlass”
日本板硝子集团（NSG Group）自豪地宣布，其作为创始成员加入了ResponsibleGlass——这是一项新成立的全球倡议，旨在推动玻璃行业的可持续发展。该集团是首家加入这个总部位于英国的多方利益相关者非营利组织的平板玻璃制造商。
ResponsibleGlass旨在为整个价值链中负责任生产的玻璃制定首个全面的国际标准，提高透明度并加速向可持续实践的转型。
6、Glass Futures与VEC合作开展由UKRI资助的人工智能玻璃计划
玻璃未来与利物浦大学虚拟工程中心（VEC）正联合启动AI-GLASS项目，这是一个数字孪生项目，旨在加速玻璃制造业的脱碳进程并推动创新。此次合作是可持续制造和行业数字化领域的重要一步。
国内新闻
（以下排序不分先后）
1、隆基三防组件银川实证：行业首张证书背后的“极限测试”
频发的火灾事故，让光伏组件安全性再度成为全行业关注的焦点。11月28日，来自产业链各环节的代表——包括电站业主、经销商、技术专家和权威媒体，再次齐聚银川国家光伏质检中心（CPVT）全球最大的户外实证基地。他们的目标明确而一致：共同见证两个月前隆基获颁的行业首张"三防"检测证书，能否经得起实证的严苛检验，以及其在真实环境下的性能表现到底怎么样。
2、耀华集团迪拜之行 构筑中东市场“新支点”
11月24-27日，耀华集团赴迪拜开展为期四天的市场调研与客户拜访行程：亮相BIG 5展会、走进中国建材国际中东北非公司、拜访当地知名幕墙设计企业ALEC Fa?ade、江河幕墙中东公司等，在展会与项目一线系统地向客户展示耀华产品与品牌形象、探讨合作新模式、谋划布局新支点，迈出了耀华深耕中东市场的坚实一步。
3、大连耀皮玻璃自动化改造项目正式投产
12月4日，大连耀皮玻璃自动化改造项目正式投产，标志着项目向高附加值高技术含量领域转型，金普新区党工委副书记，管委会主任吕东升出席仪式。
4、总投资4.98亿元 安彩光伏900t/d光伏玻璃生产线拟进行升级改造
为顺应行业发展趋势，提升核心竞争力，优化生产工艺，降低运营成本，公司拟对全资子公司安彩光伏的900t/d光伏玻璃生产线进行升级改造。
5、福耀玻璃10亿级智能制造项目落子重庆万盛 深耕汽车轻量化赛道
12月3日，福耀玻璃轻量化铝饰件智能制造项目签约仪式在重庆万盛经开区隆重举行。此次签约不仅是福耀集团拓展汽车饰件业务的战略举措，更成为万盛经开区打造智能网联新能源汽车零部件特色产业园的重要支撑，为区域产业高端化升级注入新动能。
END
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336期 玻璃周刊 一周玻璃新鲜事（2025.12.01
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